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ag优惠机的激发频率和密度之间的联系

发布时间:2021-01-28  信息来源://www.feifashion.cc/

ag态的密度和激发频率有如下关系:  
nc=1.2425×108v2   其中nc为ag态密度(cm-3),v为激发频率(Hz)。   
常用的ag体激发频率有三种:激发频率为40kHz的ag体为超声ag体,13.56MHz的ag体为射频ag体,2.45GHz的ag体为微波ag体。   
不同ag体产生的自偏压不一样。超声ag体的自偏压为1000V左右,射频ag体的自偏压为250V左右,微波ag体的自偏压很低,只有几十伏,而且三种ag体的机制不同。超声ag体发生的反应为物理反应,射频ag体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波ag体发生的反应为化学反应。超声ag体优惠对被清洁ag产生的影响最大,因而实际半导体生产应用中大多采用射频ag体优惠和微波ag优惠机。
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