发布时间：2021-01-28 信息来源：//www.feifashion.cc/
ag态的密度和激发频率有如下关系：
nc=1.2425×108v2 其中nc为ag态密度（cm-3），v为激发频率（Hz）。
常用的ag体激发频率有三种：激发频率为40kHz的ag体为超声ag体，13.56MHz的ag体为射频ag体，2.45GHz的ag体为微波ag体。
不同ag体产生的自偏压不一样。超声ag体的自偏压为1000V左右，射频ag体的自偏压为250V左右，微波ag体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种ag体的机制不同。超声ag体发生的反应为物理反应，射频ag体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波ag体发生的反应为化学反应。超声ag体优惠对被清洁ag产生的影响最大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频ag体优惠和微波ag优惠机。
